NanoChrome Trace Gas Analyzer
原理 : PED 等离子放射气相色谱技术
LDL : < 1 ppb
LDL : < 1 ppb
仪器介绍
用于半导体行业的微量气体分析仪, 可测量 H2、CH4 、 CO 、 CO2 、 N2 、Ar 和 NMHC
NanoChrome 系列结合了先进的气体传感和信号处理方法，是一款性能稳定、在半导体行业中高纯度气体应用的气相色谱仪.
• 高灵敏度等离子体发射检测器 (PED) ,可以测量 H2、CH4、CO、CO2、N2、Ar以及NMHC
• ProPeak峰值检测技术可实现高灵敏度的测量
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