NanoChrome Trace Gas Analyzer

原理 : PED 等离子放射气相色谱技术
LDL : < 1 ppb

仪器介绍

用于半导体行业的微量气体分析仪, 可测量N2、Ar 和其它不纯物

NanoChrome 系列结合了先进的气体传感和信号处理方法，是一款性能稳定、在半导体行业中高纯度气体应用的气相色谱仪.

• 高灵敏度等离子体发射检测器 (PED) 可测量 N2、Ar 和其它不纯物

• ProPeak 峰值检测技术可实现高灵敏度的测量

机台详情请点击以下链接：